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DIN EN 62047-2

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-2:2006); Deutsche Fassung EN 62047-2:2006

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006

DIN EN 62047-3

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 3: Dünnschicht-Standardmikroprobe für die Prüfung der Zugbeanspruchung (IEC 62047-3:2006); Deutsche Fassung EN 62047-3:2006

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006); German version EN 62047-3:2006

DIN EN 62047-4

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Mikrosystemtechnik (IEC 62047-4:2008); Deutsche Fassung EN 62047-4:2010

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008); German version EN 62047-4:2010

DIN EN 62047-17

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015

DIN EN 62047-16

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 16: Messverfahren zur Ermittlung der Eigenspannungen in Dünnschichten von MEMS-Bauteilen - Substratkrümmungs- und Biegebalken-Verfahren (IEC 62047-16:2015); Deutsche Fassung EN 62047-16:2015

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 16: Test methods for determining residual stresses of MEMS films - Wafer curvature and cantilever beam deflection methods (IEC 62047-16:2015); German version EN 62047-16:2015

DIN EN IEC 62044-3

Kerne aus weichmagnetischen Materialien - Messverfahren - Teil 3: Messungen der magnetischen Eigenschaften im Leistungsapplikationsbereich (IEC 62044-3:2023); Deutsche Fassung EN IEC 62044-3:2023

Cores made of soft magnetic materials - Measuring methods - Part 3: Magnetic properties at high excitation level (IEC 62044-3:2023); German version EN IEC 62044-3:2023

DIN EN IEC 62046

Sicherheit von Maschinen - Anwendung von Schutzeinrichtungen zur Anwesenheitserkennung von Personen (IEC 62046:2018); Deutsche Fassung EN IEC 62046:2018

Safety of machinery - Application of protective equipment to detect the presence of persons (IEC 62046:2018); German version EN IEC 62046:2018

DIN EN IEC 62046 Berichtigung 1

Sicherheit von Maschinen - Anwendung von Schutzeinrichtungen zur Anwesenheitserkennung von Personen (IEC 62046:2018); Deutsche Fassung EN IEC 62046:2018; Berichtigung 1

Safety of machinery - Application of protective equipment to detect the presence of persons (IEC 62046:2018); German version EN IEC 62046:2018; Corrigendum 1

DIN EN IEC 62046 Berichtigung 2

Sicherheit von Maschinen - Anwendung von Schutzeinrichtungen zur Anwesenheitserkennung von Personen (IEC 62046:2018); Deutsche Fassung EN 62046:2018; Berichtigung 2

Safety of machinery - Application of protective equipment to detect the presence of persons (IEC 62046:2018); German version EN 62046:2018; Corrigendum 2

DIN EN 62047-1

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe (IEC 62047-1:2016); Deutsche Fassung EN 62047-1:2016

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions (IEC 62047-1:2016); German version EN 62047-1:2016

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